Доступна программа конференции (pdf) здесь Информация для докладчиков здесь

Международная конференция "Микро- и наноэлектроника – 2018" (ICMNE-2018), включающая расширенную сессию "Квантовая информатика" (QI-2018), будет проводиться 1-5 октября 2018 в парк-отеле "Ершово", Звенигород, Московская область, Россия. Она продолжает серию Всероссийских конференций "МНЕ-1999", "МНЕ-2001", "КИ-2002" и международных конференций "ICMNE-2003", "QI-2004", "ICMNE-2005", "QI-2005", "ICMNE-2007", "QI-2007", "ICMNE-2009", "QI-2009", "ICMNE-2012", "QI-2012", "ICMNE-2014", "QI-2014", "ICMNE-2016" и "QI-2016".

   Конференция ICMNE проводится один раз в два года и охватывает большинство областей микро- и наноэлектронных технологий, а также физики микро- и наноразмерных приборов. ICMNE-2018 будет сконцентрирована на освещении последних достижений в этой сфере. На конференции будет работать выставка, посвященная технологическому и диагностическому оборудованию для микро- и наноэлектронных применений.

   В 2018 году в рамках конференции будет организован российско-японский круглый стол с участием ведущих ученых.

Тематика:

Физика микро- и наноразмерных приборов:

• Проблемы и пути масштабирования наноразмерных приборов и интегральных схем.
• Нанотранзисторы: CMOS FET, TFET, SET, молекулярные транзисторы и переключатели и т.д.
• Интегральные устройства памяти: DRAM, ReRAM, FeRAM.
• Приборы с 1D и 2D каналами.
• Углеродная микро- и наноэлектроника.
• Твердотельные приборы для THz генерации и детектирования.
• Магнитные микро- и наноструктуры и приборы, спинтроника.
• Сверхпроводящие микро- и наноприборы и устройства.
• Приборы оптоэлектроники, фотоники.
• Сенсоры, микро- и наноэлектромеханические системы (MEMS, NEMS, BioMEMS).
• Моделирование приборов.

Технология и характеризация материалов для микро- и наноэлектроники:

• Si, SOI, SiGe, A³B⁵, A²B⁶.
• High-k, low-k диэлектрики.
• Металлические пленки в приборных структурах УБИС.
• 1D, 2D материалы.
• Магнитные материалы, наномагнетики.
• Материалы оптоэлектроники, фотовольтаики, метаматериалы.

Технологические процессы и перспективное технологическое оборудование микро- и наноэлектроники:

• Литография: иммерсионная, EUV, электронная и ионная литография, наноимпринт.
• Front-End of Line (FEOL) процессы для технологии УБИС.
• Back-End of Line (BEOL) процессы для технологии УБИС.
• Front-End of Line (FEOL) процессы для технологии УБИС.
• Технологии 3D-интеграции интегральных схем.
• Технология 2D материалов и структур для наноэлектроники (графен, MoS₂, WS₂ и др.
• Технологии 1D структур (нанопровода, нанотрубки).
• Технологии MEMS, NEMS, BioMEMS.
• Технологии изготовления сверхпроводящих приборов.

Метрология:

• Методы диагностики и управления технологическими процессами In situ (End-point детекторы, смарт-сенсоры).
• Методы контроля, диагностики и характеризации микро- и наноструктур.

Квантовая информатика:

• Квантовые компьютеры: теория и эксперимент.
• Квантовые измерения.
• Квантовые алгоритмы.
• Квантовая связь.

Организаторы и спонсоры:

• Физико-технологический институт РАН, Москва, Россия
• АО "НИИМЭ", Зеленоград, Россия
• Российский фонд фундаментальных исследований, Москва, Россия
• Oтделение нанотехнологий и информационных технологий РАН
• SPIE – The International Society for Optical Engineering
• Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН, Новосибирск, Россия
• Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
• Ярославский государственный университет им. П.Г. Демидова, Ярославль, Россия
• TechnoInfo Ltd., Wembley, UK
• Компания НИКС, Москва, Россия

Язык:

Рабочий язык конференции – английский.

Тезисы докладов:

   Вы можете скачать шаблон одностраничных тезисов в разделе Скачать сайта конференции. Файлы с тезисами принимаются Локальным оргкомитетом ICMNE-2018 по электронной почте icmne2018@gmail.com.

   Теперь вы можете скачать Сборник тезисов.

Труды конференции:

   SPIE Digital Library публикует полные тексты докладов в отдельном томе Proceedings of SPIE, представляющем конференцию ICMNE-2018, после окончания конференции.

   Авторам необходимо подготовить рукописи полных текстов в размере научной статьи, оформленные в соответствии с правилами для Proceedings of SPIE (указаны в разделе Скачать), и направить их в издательство, используя Author Submission & Chair Review System. Тексты для публикации в SPIE должны быть написаны явным и лаконичным английским языком. Допустимый размер статьи составляет 6-12 страниц.

   Последний срок отправки рукописей полных текстов докладов в SPIE – 12 ноября 2018. Необходимо также отправить копии полнотекстовых докладов и заполненные формы SPIE о передаче авторских прав в Локальный оргкомитет ICMNE-2018. Без этого публикация в SPIE будет отклонена.

   Поскольку издание Proceedings of SPIE является рецензируемым, доклады, не представленные и не обсужденные на конференции, публиковаться в нем не будут.